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GL8 CLIV Gen2 200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备
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产品介绍
GL8 CLIV Gen2是天仁微纳新型全幅高精度紫外纳米压印设备,标配天仁微纳CLIV(Contact Litho into Vacuum)压印技术,可在200mm以下晶圆面积上实现高精度(优于10nm*)、高深宽比(优于10:1*)纳米结构复制。该设备支持自动复制柔性复合工作模具,工作模具具有精度高、寿命长等特点,可以显著降低大面积纳米压印工艺中模具使用成本。CLIV技术的应用保证了纳米压印结构的精度与高深宽比结构的完整填充,同时保证了大面积结构压印均匀性。GL8 CLIV Gen2纳米压印设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用领域的研发和量产。
展商信息
    青岛天仁微纳科技有限责任公司
  • 展商展区
  • 展商展馆
    A1
  • 展位号
    A1-A157
  • 主营产品
  • 公司简介
    青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年,是专业的纳米压印光刻设备和解决方案提供商。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印光刻整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印光刻相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。我们致力于拓展纳米压印光刻技术在创新产品领域的应用,例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。我们的使命是成为世界领先的创新公司,并利用卓越的创新力为客户解决高附加值生产难题,帮助客户实现创新技术到产品的转化。
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