距离开幕天数
展商风采丨乾曜光学——注于光学测量仪器的研制
2026-06-09

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简介:

第三届长春国际光电博览会・Light国际会议暨中国光学学会长春学术大会将于2026年6月12日至14日重磅启幕。本届盛会持续放大产业集聚效应,倾力打造专业化、市场化、高端化、国际化的全球光电顶级盛会。展会聚焦半导体、精密光学、摄像头技术应用、光电显示、激光技术、智能制造等十余大核心产业方向,邀请俄罗斯、韩国、英国、美国、意大利、荷兰等十余个国家和上海、深圳、福州、南阳、南京、苏州等国内光电重镇近千户行业领军企业共襄盛举;同期举办2026 Light Conference、中国光学学会长春学术大会、2026原子级制造创新发展大会三场重磅会议,此外,围绕CMOS传感器、半导体制造、空间遥感、具身机器人、激光技术、金融投资等专题,推动前沿技术与光电产业深度融合,抢占未来产业制高点。同时,大会将举办多维度、多层次产业对接会、高端学术论坛、人才精准招聘等系列活动,打通技术、资本、市场、人才全链条,为全球光电从业者打造一场永不落幕的产业盛宴,共筑光电产业新生态,共启长春“中国光电城”新征程!


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上海乾曜光学科技有限公司


展馆:A1  展位号:A1-C23


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上海乾曜光学科技有限公司成立于2009年6月,坐落于上海市嘉定区。为高新技术企业。乾曜光学专注于光学测量仪器的研制,为客户提供中高端激光干涉仪及相关定制产品。

乾曜光学激光干涉仪口径从5mm到600mm,波长范围从紫外193nm到近红外1550nm,测量模式有抗振机械移相、抗振波长移相MST和瞬态载波。“谷雨300”球面拼接干涉仪,能够测量口径达300mm的球面凸透镜和半球;素绘HD系列193nm和266nm的极紫外激光干涉仪 用于DUV镜头波像差测量。

乾曜光学具有核心光学元件制造的全过程能力。具备古典抛光、高效抛光、光学环抛和离子束定量抛光和镀膜的技术能力。通过三平板旋转法绝对测量、球面镜头基准球绝对测量和双球面绝对测量,建立了干涉仪标准镜精度溯源基准。

目前具有年产700台干涉仪的能力,累计销售超过3500台,结合完善的销售渠道和售后服务,服务全国,并销往日本,韩国、美国和欧洲等地。


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激光干涉仪:口径从5mm到600mm,波长范围从紫外193nm到近红外1550nm,测量模式有抗振机械移相、抗振波长移相MST和瞬态载波。

“谷雨300”球面拼接干涉仪,能够测量口径达300mm的球面凸透镜和半球;

素绘HD系列193nm和266nm的极紫外激光干涉仪 用于DUV镜头波像差测量。


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谷雨300球面拼接激光干涉仪

“谷雨300”球面拼接激光干涉仪采用集成式气浮抗振结构设计,通过计算机软件自动规划拼接方案,计算机控制5轴运动机构定位并自动完成拼接测量,最终由强大的专用Sirius拼接干涉仪软件完成数据处理,从而完成高精度的面形误差测量,“谷雨300”在光刻物镜、紫外显微物镜等领域,帮助客户测量300mm 口径凸面镜片,半球形和球形镜片的全尺寸面形误差。

独特优势:

1.更大的视野:通过计算机控制5轴运动机构的拼接测量技术,使检测仪器具备了更大的观察视野。

2.更智能的子孔径规划设计:专业开发的子孔径拼接测量软件,具有智能的拼接规划交互。用户只需输入镜片的曲率半径、直径、凹凸性及选配的镜头,软件会自动计算待测球面的张角、镜头的覆盖范围等,并可辅助用户完成子孔径拼接的规划设计。 

3.更高的横向分辨能力:相对于传统的检测手段,具有更高的细节分辨能力。当分割足够多的子孔径时,甚至可以在不依赖CGH的情况下,实现部分非球面镜片的测量。


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素绘MST100 激光干涉仪


由于激光良好的相干性,平行平面光学元件测量时,光学元件前表面、后表面均会与干涉仪参考镜产生干涉条纹,再加上前后表面之间的自身干涉条纹,会有三套干涉条纹混叠在一起。传统的测量方式均无法直接分析这样的干涉图。多表面测量技术( MST)即是解决该难题的完美方案。


乾曜光学素绘MST 100激光干涉仪多表面测量技术依托于波长调谐激光器,由于波长移相的特征是相移量与腔长相关,平行平面光学元件的每 一组干涉条纹,均有一个与腔长相关的独特频率。乾曜光学的多表面测量算法通过 分析一次采样数据,能独立地分离表征每个平行表面的形貌。也就是说,通过一次测 量,直接得到光学镜片前表面、后表面、光学厚度变化三个特征数。


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素绘HD VWS150激光干涉


乾曜光学第一代G100U/G150U推出已近5年,取得了不错的市场成功。第二代正立式激光干涉仪平台(命名素绘HD VWS150)定位为满足中高端客户需求,全面优化第一代产品。


优化后的产品优势:


1.产品外观的全面优化


2.产品隔振效果的全面提升


3.用户体验的全面优化,主要为镜头调整架与载物台;


4.提升曲率半径测量精度;全面提升的电动控制方案;



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