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DL130系列单轴纳米定位台
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产品介绍
DL130系列是单轴纳米定位平台,其采用先进的直线电机驱动技术,结合高精度交叉滚柱导轨设计,为用户提供卓越的纳米级定位精度与稳定性。多行程可选,最大水平负载12kg,侧向负载可达10kg,最大速度可达350mm/s,最大空载加速度可达1g。全行程平面度和直线度小于士1.5μm,分辨率1nm,重复定位精度±100nm,定位精度+250nm至±300nm。DL130系列平台是兼顾运动精度,灵活行程,高动态性能和较强负载能力的综合性纳米定位平台,可应用于以下场景:生物医疗领域的基因测序、光纤微系统加工、半导体晶圆缺陷检测、测量检测、表面轮廓检测等需要纳米级定位精度的检测项目微型元件(如MEMS传感器
展商信息
    北京润诚时代科技有限公司
  • 展商展区
  • 展商展馆
    A3
  • 展位号
    A3-C36
  • 主营产品
  • 公司简介
    北京润诚时代科技有限公司成立于2009年,定位于机电及自动化领域的产品研制、贸易和服务,为国内的高校、科研院所、企业等领域用户提供产品和服务。<br>公司基于多年的位移台研制经验,整合相关资源,融合国际前沿技术,隆重推出纳米级别高精度定位平台、转台和升降台,应用于半导体制造与检测、光学元件制造、光波导加工、激光加工、基因测序线扫等领域。
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