DL130ZL系列是Z向安装纳米级定位精度的垂直运动平台，其采用先进的直线电机驱动技术，结合高精度交叉滚柱导轨设计，为用户提供卓越的纳米级定位精度与稳定性。最大水平负载10kg，最大速度可达200mm/s，最大空载加速度可达1g。全行程平面度和直线度小于士2μm，分辨率1nm，重复定位精度±100nm至±125nm，定位精度+150nm至±200nm。DL130ZL系列平台是兼顾运动精度，高动态性能和较强负载能力的综合性纳米定位平台，可应用于以下场景：生物医疗领域的基因测序、光纤微系统加工、测量检测、表面轮廓检测、光纤对准、光学制造和检测、传感器测试和扫描过程。