产品介绍： DL130系列是单轴纳米定位平台，其采用先进的直线电机驱动技术，结合高精度交叉滚柱导轨设计，为用户提供卓越的纳米级定位精度与稳定性。多行程可选，最大水平负载12kg，侧向负载可达10kg，最大速度可达350mm/s，最大空载加速度可达1g。全行程平面度和直线度小于士1.5μm，分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度+250nm至±300nm。DL130系列平台是兼顾运动精度，灵活行程，高动态性能和较强负载能力的综合性纳米定位平台，可应用于以下场景：生物医疗领域的基因测序、光纤微系统加工、半导体晶圆缺陷检测、测量检测、表面轮廓检测等需要纳米级定位精度的检测项目微型元件(如MEMS传感器

产品介绍： DL180系列是单轴纳米定位平台，其采用先进的直线电机驱动技术，结合高精度交叉滚柱导轨设计，为用户提供卓越的纳米级定位精度与稳定性。多行程可选，最大水平负载30kg，侧向负载可达20kg，最大速度可达500mm/s，最大空载加速度可达1g。全行程平面度和直线度小于士2μm，分辨率1nm，重复定位精度±100nm至±125nm，定位精度+150nm至±200nm。DL180系列平台是兼顾运动精度，大行程，高动态性能和较强负载能力的综合性纳米定位平台，可应用于以下场景：生物医疗领域的基因测序、光纤微系统加工、测量检测、表面轮廓检测等需要纳米级定位精度的检测项目.

产品介绍： DL130ZL系列是Z向安装纳米级定位精度的垂直运动平台，其采用先进的直线电机驱动技术，结合高精度交叉滚柱导轨设计，为用户提供卓越的纳米级定位精度与稳定性。最大水平负载10kg，最大速度可达200mm/s，最大空载加速度可达1g。全行程平面度和直线度小于士2μm，分辨率1nm，重复定位精度±100nm至±125nm，定位精度+150nm至±200nm。DL130ZL系列平台是兼顾运动精度，高动态性能和较强负载能力的综合性纳米定位平台，可应用于以下场景：生物医疗领域的基因测序、光纤微系统加工、测量检测、表面轮廓检测、光纤对准、光学制造和检测、传感器测试和扫描过程。

产品介绍： DPL-XY 系列是面向超精密工业与科研领域的高性能两轴一体式直线电机定位平台，集双电机直驱、交叉滚柱导轨与纳米级反馈技术于一体，突破传统单轴运动平台的性能瓶颈。DPL-XY系列最大水平负载15kg至30kg，最大速度可达800mm/s，最大空载加速度可达1g。采用化设计，覆盖100mm×1000mm、200mm×200mm、250mm×250mm 及300mm×300mm标准行程，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。低侧面高度，较小阿贝误差、全行程平面度和直线度小于±2um 、 动态性能极佳，1mm/s匀速段位置误差小于±20nm、分辨率1nm，重复定位精度±100nm至±150nm，定位

产品介绍： ZAR系列是高性能气浮直驱转台，属于高精度的360°连续转台，采用旋转电机直驱控制，结合空气轴承设计，为用户提供卓越的动态性能和角秒级别定位精度。除市场领先的轴向、径向、倾斜误差运动性能外，ZAR系列气浮转台还具备卓越的旋转绝对定位精度、重复性及负载能力，易集成于多轴运动系统。ZAR系列最高转速达6000rpm，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。转角精度+2arc sec，重复性+1arc sec，轴向和径向跳动小于300nm，可应用于:测量检测、生物样片加工及观测油墨厚度测量、精密制造、光学对准、检测和校准系统。